硅谐振

作品数：15被引量：19H指数：3
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电热激励硅谐振器件的研究被引量：2
《半导体光电》2005年第2期105-107,共3页李炳乾 
设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程,并制作了器件样品。对真空中器件的幅频特性进行了实验研究,研究结果表明,在粗真空范围内,...
关键词：电热激励 微悬臂梁 谐振器件 
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