硅谐振微传感器

作品数：3被引量：7H指数：1
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硅谐振微传感器中微现象测量技术被引量：1
《强度与环境》2002年第1期59-64,共6页周浩敏 胡芳 兰巍 邢维巍 
航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
关键词：信息处理 微现象测量 谐振微传感器 品质因素 功率控制 
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