云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 硅元件

硅元件: 作品数：100被引量：25H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电子电信机械工程交通运输工程更多>>; 相关作者：李传统徐达清徐景秋陆晓剑阴春晓更多>>; 相关机构：国家电网公司中国矿业大学百利通电子(上海)有限公司三菱电机株式会社更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：湖南省教育厅科研基金国家自然科学基金NSFC-广东联合基金更多>>

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高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术被引量：3: 《中国激光》2021年第4期128-136,共9页石峰田野乔硕周光奇宋辞薛帅铁贵鹏周林舒勇周港; NSFC-广东联合基金(U1801259);国家自然科学基金(51835013,51675526);湖南省科技创新计划(2020RC2037);湖南省教育厅科学研究项目(20C0151)。; 单晶硅反射镜是高能激光系统中的重要元件,其加工质量直接影响着高能激光系统的整体性能指标。针对单晶硅反射镜加工过程中产生的各类缺陷问题,本研究团队提出了采用超精密切削、浸没式抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密加工方法来...; 关键词：光学制造高能激光系统单晶硅元件浸没式光顺抛光离子束抛光