氦质谱

作品数：305被引量：443H指数：10
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真空雾化制粉炉制粉阶段金属液氧化故障分析与维修
《设备管理与维修》2024年第21期85-87,共3页牛启明 刘博乐 赵航 朱立仁 
阐述真空雾化制粉炉制粉过程中金属液氧化故障排除过程,从设备出发分析其整体结构组成,利用负压测试法,使用氦质谱检漏仪对真空系统、炉体及充气系统进行真空检漏,故障排除等。结合伯努利原理对真空故障进行分析,找到关键故障点,并结合...
关键词：真空雾化制粉炉 故障分析 氦质谱检漏仪 伯努利原理 
真空检漏技术在真空感应炉安装中的应用被引量：1
《设备管理与维修》2020年第13期140-141,共2页金开锋 吴瑞云 彭伟平 彭凌剑 
江苏省产业前瞻与共性关键技术竞争项目(编号:BE2017149);江苏省宿迁市产业发展引导资金(科技成果转化计划)项目(编号:C201703)。
根据真空感应炉真空系统的特点,结合真空检漏技术原理和方法,选择氦质谱检漏仪法进行真空感应炉安装中的真空检漏,归纳出真空感应炉各种常见漏点和具体处理方法,缩短了真空感应炉的安装验收过程,提高了工作效率。
关键词：真空 检漏技术 感应炉 安装 氦质谱检漏仪法 
MOCVD系统检漏技术被引量：2
《设备管理与维修》2019年第17期110-111,共2页宋健 张清旭 
介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率,辅助分析产品的缺陷,最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。
关键词：MOCVD系统 漏率检测 氦质谱检漏仪法 
ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析被引量：2
《设备管理与维修》2009年第1期32-34,共3页刘朝晖 
阿尔卡特ASM181T氦检漏仪工作原理,离子源维护,机械泵故障及处理,复合分子泵润滑,质谱室及分子泵故障及处理。
关键词：氦检漏仪 分子泵 质谱室 维护 
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