红外焦平面器件

作品数：66被引量：343H指数：11
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锑化铟红外焦平面器件钝化前脱水工艺研究被引量：2
《电子器件》2019年第3期563-568,共6页亢喆 曹海娜 邱国臣 肖钰 
设计了一种专门用于锑化铟红外探测器器件工艺中钝化前的脱水处理工艺技术。包含脱水、干燥和表面处理等一系列的工艺步骤,可作为基于锑化铟材料的焦平面红外探测器器件中钝化前的标准化处理工艺。针对脱水工艺设计中遇到的问题对操作...
关键词：锑化铟 预处理 脱水 干燥 焦平面红外探测器 
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