厚度测量

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高精度激光共焦半导体晶圆厚度测量被引量：2
《光学精密工程》2024年第7期956-965,共10页李兆宇 刘子豪 王瑶莹 邱丽荣 杨帅 
国家自然科学基金联合基金集成项目(No.U22A6006)。
针对半导体晶圆厚度的高精度非接触测量问题与需求,提出了基于激光共焦的高精度晶圆厚度测量方法。该方法利用高分辨音圈纳米位移台驱动激光共焦光探针轴向运动扫描,利用激光共焦轴向响应曲线的峰值点对应物镜聚焦焦点的特性,分别对被...
关键词：激光共焦 厚度测量 半导体晶圆 光线追迹 高精度 无损测量 
光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量被引量：3
《光学精密工程》2022年第17期2067-2076,共10页李春艳 李庚鹏 刘继红 罗豆 刘佳奕 
国家自然科学基金资助项目(No.61805199);陕西省自然科学基金资助项目(No.2022JM-387);陕西省重点研发计划资助项目(No.2020GY-127);陕西省教育厅专项科研计划资助项目(No.20JK0908);西安市科技计划项目资助项目(No.2020KJRC0112)。
为了实现径向梯度折射率(GRIN)透镜厚度的准确测量,对偏心引起的径向GRIN透镜厚度测量误差进行了研究。介绍了光谱共焦厚度测量系统的工作原理,利用径向GRIN透镜的光线径迹方程,在笛卡尔坐标系下结合光学拉格朗日函数、光线弧微分方程等...
关键词：光谱共焦法 厚度测量 径向梯度折射率透镜 偏心 峰值漂移 
厚度测量中对射激光束共线性视觉检测被引量：2
《光学精密工程》2020年第8期1690-1699,共10页李加福 朱小平 杜华 唐文彦 
国家重大科学仪器设备开发项目(No.YQKFB1803-1);质量技术监督能力提升专项(No.ANL1822)。
针对厚度测量中对射激光束共线性的要求,提出了一种基于双分光棱镜的传感器光轴空间位姿视觉检测方法。在分光镜坐标系下,分析了单条激光束在组合分光棱镜中的光线传播和光斑变化规律,建立了两条激光相对位姿与光斑中心点之间的数学模...
关键词：共线检测 激光光轴 厚度测量 激光位移传感器 
壳段厚度激光检测信号的变分模态分解去噪被引量：7
《光学精密工程》2017年第8期2173-2181,共9页李加福 唐文彦 张晓琳 王军 
国家自然科学基金资助项目(No.61108073);上海航天科技创新项目(No.SAST2015029)
针对双激光位移传感器测量大型壳段厚度过程中噪声对检测精度的影响,提出利用变分模态分解来实现对厚度信号的自适应去噪,利用相邻固有模态函数之间的离散Hellinger距离来获取最佳的模态数。该方法将变分模态分解算法引入到激光信号的...
关键词：壳段厚度 厚度测量 激光检测 信号去噪 变分模态分解 Hellinger距离 
润滑油膜厚度的光学相干层析成像测量被引量：6
《光学精密工程》2017年第5期1142-1148,共7页秦玉伟 
国际合作项目(No.2017KW-032);陕西省教育厅科研计划资助项目(No.15JK1252;No.15JK1380);渭南师范学院研究项目(No.15ZRRC08;No.JG201603)
为了对滑动轴承的润滑油膜厚度进行精确测量,搭建了光纤结构的谱域光学相干层析成像(OCT)检测系统。该检测系统通过谱域OCT对油膜进行高分辨率成像,根据一维深度图像和二维层析图像中油膜和轴承表面的相对位置得到油膜厚度。分析了SD-OC...
关键词：光学相干层析成像 润滑油膜 厚度测量 谱域 解耦 
基于受抑全反射的碱金属气室镀膜厚度测量被引量：2
《光学精密工程》2014年第1期69-75,共7页全伟 刘阳 陈瑶 
国家自然科学基金资助项目(No.61227902);上海航天科技创新基金资助项目
针对原子自旋器件的碱金属气室镀膜层厚度的精确测量,提出了一种基于受抑全反射的膜层厚度测量方法。根据该方法搭建了膜厚测量系统,并进行了实验测试。分析了受抑全反射的基本理论和基于受抑全反射的膜厚测量原理,介绍了基于该方法的...
关键词：碱金属气室 受抑全反射 膜厚测量 激光测量法 
用空间载频法测量玻璃平板的厚度均匀性被引量：6
《光学精密工程》2013年第2期260-266,共7页蔡怀宇 李宏跃 朱猛 黄战华 
高等学校博士点专项科研基金资助项目(No.20110032120059)
设计了一种基于迈克耳逊干涉光路的相位测量系统,将单臂作为检测端完成了对玻璃平板厚度均匀性的直接测量和分析。该系统由CCD采集干涉图样,利用傅里叶变换条纹分析术和相位解包裹技术提取干涉图中所包含的待测相位信息;对于傅里叶变换...
关键词：干涉测量 玻璃平板检测 厚度测量 傅里叶变换法 空间载频 
粗糙表面精度测量系统的研究被引量：17
《光学精密工程》2005年第6期697-702,共6页高春甫 邬敏 
设计了一套粗糙表面精度测量系统,采用线边缘激光三角法实现了亚像素级测量,在图像算法上采用改进的阈值法进行边缘检测,用形态滤波法对被测物表面图像进行处理。研究结果表明,该系统能较好地提高测量精度,并得出较满意的图像边缘,可达...
关键词：厚度测量 粗糙表面 亚像素 阈值法 激光三角法 线边缘法 形态滤波 
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