邱丽荣

作品数：55被引量：202H指数：8
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供职机构：北京理工大学更多>>
发文主题：定焦共焦激光差动光线追迹更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《激光与光电子学进展》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
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激光扫描横向差动共焦显微系统研制
《光学学报》2024年第22期120-130,共11页于森 王振儒 邱丽荣 崔健 赵维谦 
针对微细结构样品表面形貌的高速高精度测量难题,研制了一套激光扫描横向差动共焦显微系统。该系统通过在共焦系统收集光路插入D型光阑,使被测样品表面高度发生变化引起探测光斑横向移动,在探测焦平面进行分割焦斑探测,获得高灵敏横向...
关键词：光学仪器 三维显微成像 横向差动共焦显微术 振镜扫描 高速高分辨 
可调谐超快激光贝塞尔光束加工方法研究被引量：1
《红外与激光工程》2024年第8期56-64,共9页全宏升 马威峰 唐赞 张宗全 金昌骏 邱丽荣 徐可米 赵维谦 
国家自然基金联合基金集成项目(U22A6006);山东省重大科技创新工程项目(2021CXGC010201)。
为了实现高效率和加工精度可灵活调节的超快激光微器件加工,提出了一种基于可调谐贝塞尔光束的超快激光加工方法。该方法通过调节可对初级贝塞尔光束压缩的双远心光学系统压缩比,实现了超快激光贝塞尔光束的中心主瓣半径和最大无衍射传...
关键词：超快激光加工 贝塞尔光束 双远心光学系统 音圈致动器 
激光共焦干涉面形快速高精度自动测量被引量：1
《光学精密工程》2024年第9期1320-1329,共10页赵家豪 杨帅 杨铮 崔健 邱丽荣 赵维谦 
国家自然科学基金资助项目(No.U22A6006);民用航天技术预先研究项目(No.D020402)。
针对传统球面面形干涉测量中手动调整被测件姿态精度低、速度慢的问题,提出了激光共焦干涉面形快速高精度自动测量方法。该方法通过共焦精密定焦技术实现了对被测件共焦位置的高精度轴向定位;通过五维自动调整架对被测件进行姿态调整,...
关键词：激光共焦测量 移相干涉 共焦法 姿态调整 Zernike拟合 自动测量 
高精度激光共焦半导体晶圆厚度测量被引量：1
《光学精密工程》2024年第7期956-965,共10页李兆宇 刘子豪 王瑶莹 邱丽荣 杨帅 
国家自然科学基金联合基金集成项目(No.U22A6006)。
针对半导体晶圆厚度的高精度非接触测量问题与需求,提出了基于激光共焦的高精度晶圆厚度测量方法。该方法利用高分辨音圈纳米位移台驱动激光共焦光探针轴向运动扫描,利用激光共焦轴向响应曲线的峰值点对应物镜聚焦焦点的特性,分别对被...
关键词：激光共焦 厚度测量 半导体晶圆 光线追迹 高精度 无损测量 
五维自动调整差动共焦间隙测量方法
《光学技术》2023年第6期692-698,共7页崔明拓 邱丽荣 崔健 杨帅 
山东省重点研发计划项目(2021CXGC010201)。
为精确、快速测量镜组内各透镜间的轴向间隙,提出一种基于五维自动调整的差动共焦间隙测量方法。该方法根据CCD探测器实时获取的光斑信号检测被测镜组光轴的平移偏差与倾斜偏差,依据偏差信息、通过五维自动调整技术实现镜组高精度调整,...
关键词：五维自动调整 镜组轴向间隙 差动共焦 高精度 
激光差动共焦透镜中心偏的自动测量
《光学精密工程》2023年第23期3405-3413,共9页王伟 杜卓 程然 赵维谦 王允 邱丽荣 
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2023CX01006);民用航天技术预先研究项目(No.D020402);国家自然科学基金杰出青年基金资助项目(No.51825501)。
针对现有中心偏差测量方法中测量精度低、透镜姿态调整人为干扰大的问题,提出一种差动共焦透镜中心偏自动测量方法。该方法通过差动共焦定焦技术,依据差动共焦轴向光强响应曲线的过零点精确对应被测镜特征点这一特性,实现对被测镜猫眼...
关键词：激光测量 差动共焦 中心偏 自动调整 自动测量 姿态偏差 
用于光学显微成像的无像差双二维微机电系统振镜光束扫描方法被引量：1
《光学学报》2023年第21期70-78,共9页张国卓 王旭 王允 赵维谦 邱丽荣 崔晗 
国家杰出青年科学基金(51825501);国家自然科学仪器基金(61827826)。
光束扫描系统在光学显微成像中扮演着重要的角色,针对现有光束扫描中继系统尺寸、像差较大以及装调精度要求高的问题,提出一种双二维微机电系统(MEMS)振镜光束扫描方法。该方法采用两片二维MEMS振镜进行光束远心扫描,其中,一片MEMS振镜...
关键词：双二维微机电系统振镜 光束扫描 无像差 小型化 扫描成像 共焦 
基于剪切模式的快速共焦拉曼光谱探测方法
《光学技术》2023年第5期562-567,共6页马寒 邱丽荣 赵维谦 王允 王瑞石 
国家自然科学基金青年科学基金(62105021);国家重大科研仪器研制项目(61827826)。
针对弱散射样品的拉曼光谱信号弱,探测时间长的问题,提出了一种基于剪切模式的快速激光共焦拉曼光谱探测方法,该方法通过减少信号传输单元来减小曝光时间,通过只采集信号靶面单元有效拉曼光斑区域的方式,在保证拉曼信号强度的基础上同...
关键词：拉曼光谱 探测速度 EMCCD 剪切模式 
激光差动共焦拉曼光谱高分辨图谱成像技术进展被引量：2
《光学学报》2023年第15期385-398,共14页邱丽荣 崔晗 王允 徐可米 赵维谦 
国家自然科学基金杰出青年项目(51825501);国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(61827826)。
激光共焦拉曼光谱技术由于具有分子指纹及层析成像特性,成为探索微观分子世界的重要手段;但受原理限制,现有激光共焦拉曼光谱技术的分辨力及图谱成像能力逐渐桎梏了其发展。近年来,围绕激光共焦拉曼光谱技术性能改善方面,本研究团队基...
关键词：共焦拉曼光谱 高分辨 图谱成像 差动共焦 
激光差动共焦干涉高精度测量技术及仪器被引量：2
《光学学报》2023年第15期36-44,共9页杨帅 邱丽荣 汤亮 杨铮 崔健 王允 赵维谦 
国家重点研发计划(2017YFA0701203);国家杰出青年科学基金(51825501)。
球面光学元件的曲率半径、厚度、折射率、焦距和面形等多参数的高精度检测是光学元件超精密制造的迫切需求,但现有测量方法受层析定焦能力、抗散射能力及抗环境扰动能力的制约,难以实现上述参数的高精度共基准测量。为此,本团队提出了...
关键词：测量 差动共焦干涉 球面光学元件 高精度测量 层析定焦 共基准测量 
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