二维零位光栅

作品数：6被引量：13H指数：3
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相关作者：黄文浩周成刚叶锡标张阳李尚志更多>>
相关机构：中国科学技术大学上海理工大学更多>>
相关期刊：《仪器仪表学报》《光学精密工程》《中国科学技术大学学报》《电子显微学报》更多>>
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二维零位光栅自动纳米定位系统被引量：2
《光学精密工程》2014年第9期2444-2450,共7页李家文 陈宇航 胡衍雷 劳召欣 褚家如 黄文浩 
国家自然科学基金资助项目(No.51275502;91223203);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ040136);中国博士后科学基金资助项目(No.2012M511416;2012M521245);中央高校基本科研业务费专项基金青年创新基金资助项目(No.KB2090090001)
搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能.在此基础上...
关键词：二维零位光栅 自动对准 定位算法 电路噪声 精度分析 
二维零位光栅编码算法设计
《仪器仪表学报》2007年第1期181-184,共4页叶圣麟 陈家壁 马军山 庄松林 
国家重点基础研究发展计划[973](2005CB724304)资助项目
本文根据零位信号的产生原理,提出了一种基于遗传算法的二维零位光栅编码的设计方法。遗传算法是一种自组织、自适应和自学习的智能型算法,能以有限代价来解决大规模问题的搜索和优化。本文采用格雷码进行编码,并对编码过程进行了计算...
关键词：二维零位光栅 遗传算法 格雷码 
二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用被引量：6
《电子显微学报》1999年第1期137-140,共4页胡翘 王文伟 黄文浩 李尚志 
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿...
关键词：SPM 零位光栅 纳米计量 二维 超高分辨率 
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