高纯氢气

作品数：44被引量：39H指数：4
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碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置
《表面技术》2005年第2期65-65,共1页陈新谋 
本发明涉及对碳纤维表面涂复碳化硅表面层的方法和专用装置。该专置即为改进了3射频聚焦式加热器：利用聚焦电磁场将纤维加热至1100℃～1300℃，并在石英管或反应器中制造一个氯硅烷和高纯氢气的反应环境，使氯硅烷裂解生成氯化氢的同...
关键词：表面涂复 碳化硅 碳纤维 工艺 专用装置 高纯氢气 纤维表面 气相沉积 氯硅烷 表面层 电磁场 加热器 聚焦式 反应器 石英管 氯化氢 裂解 
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