高精度位移传感器

作品数：26被引量：96H指数：6
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基于高精度位移传感器的减振平台被引量：8
《光学精密工程》2010年第3期646-652,共7页宁大勇 高云国 刘稀凤 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA04Z367)
为了保证光学精密仪器工作基础的高稳定性,设计了一种新型的减振平台。该减振平台采用精度为10nm的位移传感器作为测量装置,通过位移传感器测量隔振平台支撑弹簧的长度变化,计算出支撑力的变化;然后,调整电磁驱动器的电磁力,使光学精密...
关键词：位移传感器 减振平台 弹簧 电磁驱动器 
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