高精度位移传感器

作品数：26被引量：96H指数：6
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
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相关机构：大连理工大学中国计量科学研究院苏州新智机电科技有限公司陕西中科启航科技有限公司更多>>
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高精度位移传感器动静态溯源和校准装置的研制被引量：7
《计量学报》2008年第B09期57-60,共4页薛梓 叶孝佑 杨国梁 王鹤岩 
中国计量科学研究院院长基金（0506YS）
介绍了高精度位移传感器的动、静态特性溯源和校准原理及其标准装置的结构组成，并对它进行了实验验证。该装置可根据位移传感器在实际测量中的使用状态以及幅频响应范围，生成相应幅频下的标准动态信号并产生标准振动，经过同步采集及...
关键词：计量学 位移传感器 动态校准 溯源 动态响应特性 
高精度位移传感器测量被引量：1
《计量学报》2006年第z1期200-202,共3页裴丽梅 许婕 苏永昌 郑庆国 王自军 
利用高精度的F-P激光干涉仪,研制了一套用于高精度位移传感器的校准装置,可以校准示值误差为十几个纳米到几十个纳米的高精度位移传感器.测量原理是利用F-P激光干涉仪的灵敏度高、测量精度高等特点,将干涉仪和被测传感器同时测量放置在...
关键词：计量学 位移传感器 法布里-珀罗干涉仪 高精度测量 
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