Λ/4相移

作品数：11被引量：19H指数：3
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抗蚀剂组合法制造DFB激光器λ/4相移光栅被引量：1
《光通信研究》1991年第4期34-37,共4页杨新民 
本文介绍用正、负光致抗蚀剂组合的方法,制造用于DFB激光器λ/4相移光栅的原理及工艺,并给出了研究结果和质量评价。光栅周期为4600A,相移转换区小于3μm。
关键词：DFB 激光器 相移光栅 制造 抗蚀剂 
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