雪崩光电探测器

作品数：47被引量：96H指数：5
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4H-SiC雪崩光电探测器中倍增层参数的优化模拟
《量子电子学报》2011年第6期742-747,共6页钟林瑛 洪荣墩 林伯金 蔡加法 陈厦平 吴正云 
福建省自然科学基金项目(2009J05151)资助
应用ATLAS模拟软件,设计了吸收层与倍增层分离的(SAM)4H-SiC雪崩光电探测器(APD)结构。分析了不同外延层厚度和掺杂浓度对器件光谱响应的影响,对倍增层参数进行优化模拟,得出倍增层的最优化厚度为0.26μm,掺杂浓度为9.0×10^(17)cm^(-3...
关键词：光电子学 4H—SiC APD 光谱响应 探测率 
用于4H-SiC雪崩光电探测器p型欧姆接触的研究被引量：3
《量子电子学报》2007年第6期743-747,共5页朱会丽 陈厦平 吴正云 
对4H-SiC雪崩光电探测器的Ti/Al/Au p型欧姆接触进行了详细的研究。通过线性传输线模型(LTLM)测得经930℃退火后欧姆接触的最小比接触电阻为5.4×10^(-4)Ωcm^2。分别用扫描电子显微镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)和...
关键词：光电子学 4H—SiC P型欧姆接触 X射线光电子能谱 雪崩光电探测器 
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