半导体掺杂

作品数：29被引量：23H指数：3
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电子束半导体掺杂
《半导体技术》1990年第1期33-38,共6页于志战 
本文扼要介绍了国内外有关电子束半导体掺杂方面的实验技术、掺杂机理研究以及电子束半导体掺杂实用性等问题,提出了今后要进一步深入研究的几个问题。
关键词：电子束 半导体 掺杂 
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