半导体压力传感器

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半导体压力传感器技术及其市场动向
《微细加工技术》1992年第1期86-89,共4页佐藤尊伺 赵秀英 
压力是流体的状态量之一,压力计量对于了解流体状态非常重要,它是以石油工业为中心的工艺过程控制领域中不可缺少的。此外,最近也开始出现把压力传感器用于日常生活使用的机器上以提高它们性能的发展趋势。 一般来说是先把压力变换成力...
关键词：半导体 压力传感器 传感器 市场 
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