MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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C_(60)作为石英衬底过渡层气相生长金刚石薄膜被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》1997年第4期5-7,共3页杨国伟 刘大军 何金田 张兵临 毛友德 
湖南省自然科学基金;河南省基础与应用科学研究所的部分资助
本文采用微波等离子体化学气相沉积方法（MWPCVD），以C60膜作为过渡层，在石英（StO2）衬底表面，首次在等离子体预处理中无衬底负偏压条件下生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜观察到金刚石晶粒呈菜花关，生长表面为（100）晶面。
关键词：石英 过渡层 金刚石薄膜 碳60 MWPCVD 
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