MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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C_(60)作为石英衬底过渡层汽相生长金刚石薄膜
《半导体光电》1998年第3期205-207,共3页杨国伟 张兵临 
湖南省自然科学基金
采用微波等离子体化学气相沉积方法（ＭＷＰＣＶＤ），以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英（ＳｉＯ２）衬底表面，首次在等离子体预处理中，无衬底负偏压条件下，生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜（ＳＥＭ）观察到金刚石晶粒呈菜花状，生长表...
关键词：石英 金刚石薄膜 碳60 MWPCVD 薄膜 
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