N型GAN

作品数：19被引量：31H指数：3
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：张国义秦志新张利民张小东赵旺更多>>
相关机构：中国科学院北京大学兰州大学三菱化学株式会社更多>>
相关期刊：《高技术通讯》《发光学报》《物理学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
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n-GaN上Au/Zr和Au/Ti金属电极的界面反应和金属间互扩散行为对比研究被引量：1
《材料导报》2022年第21期120-125,共6页张可欣 李庚伟 杨少延 魏洁 
国家自然科学基金(61774147);南京佑天金属科技有限公司技术开发项目(Y8H1020M00)。
电极接触是制作半导体器件中非常重要的问题。金属电极与半导体形成的欧姆接触是器件高效率、低功耗服务的保障,直接影响了器件性能的优劣。前人关于欧姆接触的研究主要集中在金属电极体系和处理条件的选择,寻求比接触电阻率最低的方案...
关键词：N型GAN Au/Zr欧姆接触电极 互扩散行为 界面反应 
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