PBII

作品数：12被引量：47H指数：3
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Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters
《Rare Metals》2011年第2期142-145,共4页LI Zhongwen GU Le TANG Guangze MA Xinxin SUN Mingren WANG Liqin 
supported by the National Basic Research Program of China (No. 2007CB607602);the Science Found for Distinguished Yong Scholars of Heilongjiang Province,China (No. JC200901);the National Natural Science Foundation of China (No. 50875058);the Program of Excellent Teams of Harbin Institute of Technology
Tantalum nitride and tantalum carbide films were fabricated using magnetron sputtering of tantalum followed by nitrogen and carbon plasma-based ion implantation （N-PBII and C-PBII）. The phase evolution and morpholog...
关键词：thin films tantalum nitride tantalum carbide phase composition magnetron sputtering ion implantation 
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