PBII

作品数:12被引量:47H指数:3
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相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者:夏立芳李光孙跃雷明凯马欣新更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学大连理工大学中国科学院中国科学院上海冶金研究所更多>>
相关期刊:《哈尔滨工业大学学报》《功能材料》《摩擦学学报(中英文)》《Chinese Journal of Structural Chemistry》更多>>
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Deposition and Thermal Stability of DLC/Si-N Composite Films Synthesized Using a Sputtering-PBII Hybrid System
《Materials Sciences and Applications》2019年第12期746-755,共10页Anas Mohammed A. Melih Keita Yamada Shuichi Watanabe 
Diamond-like carbon (DLC) is a metastable amorphous material that exhibits unique properties. However, there are many limitations regarding the use of this material due to factors such as its tribological characterist...
关键词:Diamond-Like Carbon DLC/Si-N Tribology Sputtering-PBII Hybrid System 
Tribological Behavior of Binary B-C Films Deposited by Sputtering-PBII Hybrid System
《Materials Sciences and Applications》2018年第9期723-731,共9页Honei Chin Satoshi Yoshida Shuichi Watanabe 
In this article, the authors report on the use of Radio Frequency (RF) Magnetron Sputtering combined with Plasma-Based Ion Implantation (PBII) technique to synthesize the Boron-Carbon (B-C) films. High purity of boron...
关键词:BINARY Boron-Carbon (B-C) Film SPUTTERING Plasma-Based Ion IMPLANTATION (PBII) Hybrid System Bonding Structure Friction Performance 
The Structure and Mechanical Properties of Cr4Mo4V Steel Treated by PIII Carbonitriding被引量:3
《稀有金属材料与工程》2012年第S1期176-179,共4页Ken Yukimura 
supported by NSFC(51001039);National Basic Research Program of China(No.2007CB607602);The Program of Excellent Teams of Harbin Institute of Technology;Science Found for Distinguished Yong Schoolars of Heilongjiang Province(JC200901)
The composition and structure of PIII(plasma immersion ion implantation)carbonitrided Cr4Mo4V steel were analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy(XPS),X-ray diffraction(XRD),optical microscopy(OM)and SEM.The re...
关键词:Cr4Mo4V STEEL PBII CARBONITRIDING HARDNESS wear resistance 
A 2-D Pb~Ⅱ Coordination Polymer Constructed by 2,6-Dimethylpyridine-3,5-dicarboxylic Acid被引量:1
《Chinese Journal of Structural Chemistry》2012年第6期829-834,共6页彭大权 张明星 陈新 祝怡 杨姗姗 
Supported by the Science and Technology Projects of Chongqing Municipal Education Commission(KJ060805,KJ100602);Chongqing Normal University Scientific Research Foundation Project(10XLZ005,2011XLS30)
Poly[(μ4-2,6-dimethylpyridine-3,5-dicarboxylato)dihydrate]diaqualead(II)] (1) exhi- bits a two-dimensional (2-D) layer structure in which the asymmetric unit contains one Pbn centre, one 2,6-dimethylpyridine-...
关键词:pyridinedicarboxylate PHOTOLUMINESCENCE PBII 
Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters
《Rare Metals》2011年第2期142-145,共4页LI Zhongwen GU Le TANG Guangze MA Xinxin SUN Mingren WANG Liqin 
supported by the National Basic Research Program of China (No. 2007CB607602);the Science Found for Distinguished Yong Scholars of Heilongjiang Province,China (No. JC200901);the National Natural Science Foundation of China (No. 50875058);the Program of Excellent Teams of Harbin Institute of Technology
Tantalum nitride and tantalum carbide films were fabricated using magnetron sputtering of tantalum followed by nitrogen and carbon plasma-based ion implantation (N-PBII and C-PBII). The phase evolution and morpholog...
关键词:thin films tantalum nitride tantalum carbide phase composition magnetron sputtering ion implantation 
单晶硅表面等离子体基离子注入碳纳米薄膜的摩擦学特性被引量:32
《摩擦学学报》2004年第2期115-118,共4页廖家轩 刘维民 徐洮 严洁 薛群基 
用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜,考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能,并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌.结果表明,所制备的碳纳米薄膜光滑致密,为高硬度富弹性的...
关键词:单晶硅 等离子体基离子注入(PBII) 碳纳米薄膜 摩擦学性能 
PBII制备TiN_x/DLC多层膜的结构及摩擦学性能被引量:7
《材料科学与工艺》2003年第1期20-24,共5页李光 孙跃 夏立芳 高超 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(97021312).
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5k...
关键词:PBⅡ TiNx/DLC多层膜 结构 等离子体基离子注入 DLC膜 喇曼光谱 摩擦性能 类金刚石碳 30CRMNSI钢 氮化钛 
等离子体基离子注入法制备SOI材料被引量:1
《功能材料》2002年第4期347-349,353,共4页于伟东 王曦 陈静 张苗 
国家自然科学基金资助项目 (5992 52 0 5) ;上海市学科带头人资助项目 (99XD1 4 0 2 9)
注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程。本文简述了等离子体基离子注入 (PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状。讨论了两...
关键词:等离子体基离子注入 SOI材料 PBII SIMOX SMART-CUT 
PBII固体润滑膜的结构及真空摩擦性能被引量:3
《哈尔滨工业大学学报》2001年第4期481-484,共4页夏立芳 李光 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(970 2 1 31 2 )
利用PBII技术制备了TiN/DLC和TiN/Ag固体润滑膜 ,研究了膜层的成分结构及真空条件下的摩擦性能 .结果表明 :PBII有效地实现了表层润滑膜与基体之间成分和结构的过渡 ;真空条件下 ,接触面光滑(Ra <0 .1μm)的DLC与Ag之间的摩擦系数为 0 ....
关键词:固体润滑膜 DLC膜 PBII XPS 类金刚石碳膜 膜层结构 摩擦性能 航天材料 
Characteristics of Cu implantation into Si by PBII using UBMS cathode
《中国有色金属学会会刊:英文版》2001年第2期173-177,共5页于伟东 夏立芳 孙跃 
The implantation of Cu into Si substrate was carried out by plasma based ion implantation (PBII) using unbalanced magnetron sputtering (UBMS) cathode as the metal plasma source. The different pulse bias ( U p) and the...
关键词:unbalanced magnetron sputtering plasma based ion implantation recoil implantation 
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