等离子体基离子注入

作品数：31被引量：110H指数：4
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第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将在上海召开
《中国表面工程》2017年第2期84-84,共1页
第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将于2017年10月17~20日在上海召开。会议由国际等离子体注入和沉积委员会（PBII＆D International Committee）发起,由中国科学院上海硅酸盐研究所、中国科学院上海微系统与信息研究所共同承办。
关键词：中国科学院上海硅酸盐研究所 等离子体基离子注入 国际会议 沉积 等离子体注入 委员会 微系统 
氮/氟离子注入Ti6Al4V合金耐磨性研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2016年第11期1279-1285,共7页陈道明 孙明仁 白贵元 马新欣 唐光泽 
通过等离子体基离子注入(PBII)表面改性的方法,采用不同的负脉冲偏压对Ti6Al4V合金进行氮/氟离子注入,并研究了改性层的结构、硬度以及摩擦磨损性能等。利用原子力显微镜研究了改性前后的表面粗糙度变化,并用X光电子能谱分析了改性层表...
关键词：TI6AL4V 等离子体基离子注入 摩擦磨损性能 
Ti6A14V合金等离子体基氧离子注入层的层状结构被引量：2
《材料热处理学报》2007年第B08期279-283,共5页李金龙 马欣新 孙明仁 
高等学校博士学科点专项科研基金(20040213048)
采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面改性。注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×10^(17)ions/cm^2。用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态。结果显示,注入电压增加,氧的浓度深度分布增加。注入...
关键词：TI6AL4V 氧等离子体基离子注入 X射线光电子能谱 层状结构 
等离子体基离子注入制备TiN膜的成分结构被引量：2
《材料科学与工艺》2007年第1期40-43,共4页李金龙 孙明仁 马欣新 唐光泽 金银玉 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040213048)
采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明...
关键词：等离子体基离子注入 TIN膜 XPS 成分深度分布 元素化学价态 纳米硬度 
GCr15钢等离子体基碳氮离子注入表面强化
《航空制造技术》2007年第z1期407-411,共5页崔丹 唐光泽 马欣新 
通过改变碳和氮的注入顺序和注入剂量条件,研究了GCr15钢表面硬度和摩擦磨损性能的变化规律,讨论了等离子体基碳氮离子注入对GCr15钢表面的强化效果.
关键词：等离子体基离子注入 摩擦磨损性能 纳米硬度 
等离子体基离子注入技术发展及其应用被引量：4
《机械工人（热加工）》2005年第4期33-35,共3页蔡珣 
等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技...
关键词：离子注入技术 等离子体基离子注入 应用 表面改性技术 复杂形状工件 批量生产 生产效率 发展趋势 线加工 成本低 
Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究被引量：4
《中国有色金属学报》2004年第9期1615-1620,共6页李金龙 孙明仁 马欣新 
采用等离子体基离子注氧技术(O2 PBII)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构...
关键词：等离子体基离子注入 XPS分析 化学态 
单晶硅表面等离子体基离子注入碳纳米薄膜的摩擦学特性被引量：32
《摩擦学学报》2004年第2期115-118,共4页廖家轩 刘维民 徐洮 严洁 薛群基 
用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜，考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能，并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌．结果表明，所制备的碳纳米薄膜光滑致密，为高硬度富弹性的...
关键词：单晶硅 等离子体基离子注入(PBII) 碳纳米薄膜 摩擦学性能 
铝合金表面等离子体基离子注入碳层的摩擦学性能被引量：1
《摩擦学学报》2003年第4期282-286,共5页廖家轩 夏立芳 孙明仁 刘维民 徐洮 薛群基 
国家自然科学基金资助项目(59771059).
在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上,制备了3种含不同中间层的碳改性层,用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布,考察了中间层对改性层同钢球对摩时的摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的碳层改性层表层为平整、光滑、致密...
关键词：铝合金 等离子体基离子注入 中间层 摩擦学性能 
正方形钛试样表面等离子体基离子注入氮的保留剂量研究
《材料科学与工艺》2003年第3期273-276,共4页孙琦 夏立芳 马欣新 
为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBII)的保留剂量分布.由于N的Auger电子发射能量与Ti的完全重合,而且表面氧化层对Ti的A...
关键词：钛 等离子体基离子注入 氮 保留剂量 均匀性 靶 
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