压电特性

作品数:87被引量:200H指数:7
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应用于手部关节运动的压电驻极体柔性传感器被引量:2
《传感器与微系统》2022年第5期157-160,共4页胡宇涵 咸婉婷 刘志远 徐冬 陈宝成 
采用压电驻极体材料聚丙烯(PP)薄膜作为柔性敏感膜,采用膨化及电晕极化工艺对压电驻极体薄膜进行处理,使薄膜的杨氏模量降低,进一步提升其电极化能力,从而提高压电薄膜的压电系数d_(33),进一步增强压电活性。采用准静态压电实验的方法...
关键词:压电驻极体 柔性敏感膜 压电特性 传感器 
基于氮化铝薄膜的新型MEMS振动传感器被引量:1
《传感器与微系统》2020年第12期22-25,共4页陈丽洁 雷亚辉 杨月 于洋 徐兴烨 龚李佳 
为验证氮化铝薄膜在传感器设计技术方面具有独特的优势,以振动传感器为例开展氮化铝薄膜MEMS振动传感器设计与试验研究,通过在不同敏感位置设计制作不同的电极开展比对测试试验研究工作。在振动台上对设计有多种测试电极的芯片样品进行...
关键词:氮化铝薄膜 压电特性 振动传感器 灵敏度 频率响应 
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