压电微泵

作品数：36被引量：127H指数：7
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新型压电微泵的结构设计与理论分析被引量：4
《传感器与微系统》2006年第12期82-84,88,共4页耿照新 崔大付 王海宁 刘长春 
国家自然科学重大基金资助项目(20299030);国家自然科学重点基金资助项目(604270001)
微泵在微流控化学分析芯片中有很大的应用前景,日益成为人们研究的热点。从结构设计、理论分析和工艺加工3个方面研究了微阀与微泵,设计出用压电驱动和聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜的集成微阀与微泵,其特点是原理新颖、结构简单、易于...
关键词：压电 微泵 微阀 聚二甲基硅氧烷 
一种基于MEMS技术的压电微泵的研究被引量：7
《传感器与微系统》2006年第8期82-84,88,共4页王海宁 崔大付 耿照新 陈兴 
国家自然科学基金重点资助项目(60427001);国家自然科学基金资助重大项目(20299030);国家自然科学基金资助项目(60501020)
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,使用了一个主动阀和一个被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比,显著降低了加工成本,并提...
关键词：微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷 复合阀 
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