压电微马达

作品数：15被引量：35H指数：3
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基于SU-8胶转子的非接触压电微马达被引量：3
《微细加工技术》2005年第1期63-66,共4页杨斌 刘景全 周广华 陈迪 张金娅 蔡炳初 
国家自然科学基金资助项目(50205017)
研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶...
关键词：SU-8胶转子 非接触 压电微马达 
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