压电微马达

作品数：15被引量：35H指数：3
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相关机构：清华大学华中科技大学上海交通大学中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
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非接触压电微马达的仿真与实验研究被引量：3
《光学精密工程》2005年第2期165-170,共6页杨斌 刘景全 陈迪 周广华 蔡炳初 
国家自然科学基金(No.50205017)
提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟。利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2 种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率...
关键词：振动模态 非接触 压电微马达 有限元模拟 
基于SU-8胶转子的非接触压电微马达被引量：3
《微细加工技术》2005年第1期63-66,共4页杨斌 刘景全 周广华 陈迪 张金娅 蔡炳初 
国家自然科学基金资助项目(50205017)
研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶...
关键词：SU-8胶转子 非接触 压电微马达 
MEMS器件中的铁电材料
《微纳电子技术》2004年第3期25-28,共4页郭冬云 王耘波 付承菊 于军 
国家自然科学基金资助项目(60171012);湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA061)
铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值。本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况。
关键词：MEMS 铁电材料 微电子机械系统 应用 压电微马达 微型传感器 
压电微马达研究进展被引量：5
《压电与声光》2002年第2期116-121,共6页阎立 褚祥诚 董蜀湘 李龙土 
利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。
关键词：压电微马达 压电薄膜 静电超声微马达 
一种新型压电微马达的致动机理分析
《工程设计学报》2001年第4期161-164,共4页金昊炫 应济 刘文耀 
浙江省自然科学基金资助项目 (2 0 0 0 82 );宁波职业技术学院科研基金资助项目
研制高性能、微体积的微型马达将极大地促进微机械电子系统的发展 .给出了一种结构简单、易于微型化的压电致动马达 .利用振动学理论 ,建立了其振动模型 ,并在此基础上进行了运动和动力特性分析 .
关键词：压电微马达 压电致动 动力特性 运动特性 致动机理 定子振动模型 
一种新型压电微马达的致动机理分析
《宁波职业技术学院学报》2001年第3期99-102,共4页刘文耀 
宁波职业技术学院科研经费资助项目
研制高性能，微体积的微型马达将极大地促进徽机械电子系统的发展。本文给出了一种结构简单，易于微型化的压电致运马达，建立了其振动模型．并在其基础上进行了运动和动力特性分析。
关键词：微电子机械系统 微马达 压电致动 定子 振动分析 
φ1.8mm棒状压电陶瓷微马达的研究被引量：21
《压电与声光》2001年第2期103-105,共3页褚祥诚 阎立 董蜀湘 李龙土 
提出一种低成本、结构简单 ,直径为 1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸 1.8mm× 8mm的压电陶瓷圆棒 ,马达整体装配外形尺寸 1.8mm× 12 m...
关键词：压电微马达 微驱动器 压电陶瓷 
激光器结构与设计
《中国光学》1999年第1期26-28,共3页
TN242 99010159压电微马达控制的激光谐振腔调节器=A regulatorfor laser resonator controlled by piezoelectricmicromotor[刊,中]/董蜀湘,霍玉晶,王树昕,邱海波(清华大学.北京(100084))//大连理工大学学报.—1997,37(增2).
关键词：压电微马达 激光谐振腔 激光器 强激光 光栅对脉冲整形器 色散棱镜 大连理工大学 调节器 粒子束 设计 
压电微马达研制被引量：1
《仪表技术与传感器》1998年第6期11-12,10,共3页卢建国 沈德新 张健 张保安 王渭源 
国家攀登计划"微电子机械系统"资助项目
本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径Φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０～５０ｒ／ｍｉｎ。同时对转子重量、形状、激励频率与转速关系进行研究。
关键词：压电电机 旋转波 微马达 微机械 微电机 
纵弯式压电微马达驱动机理研究被引量：3
《光学精密工程》1998年第5期69-73,共5页邵培革 王立鼎 
863计划资助项目
分析了纵弯式压电微马达驱动机理，建立了纵弯式压电微马达输出功率与驱动臂的倾角、长宽比之间的相位差及压紧力关系的数学模型，为纵弯式压电微马达的优化设计奠定了基础。
关键词：纵弯式 微马达 驱动机理 压电马达 
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