MEMS器件中的铁电材料  

Ferroelectric material in MEMS

作　　者：郭冬云[1] 王耘波[1] 付承菊[2] 于军[1] 

机构地区：[1]华中科技大学电子科学与技术系,湖北武汉430074 [2]武汉理工大学材料科学与工程学院,湖北武汉430070

出　　处：《微纳电子技术》2004年第3期25-28,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60171012);湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA061)

摘　　要：铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值。本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况。Ferroelectric materials,characterized by excellent piezoelectricity and pyroelectricity etc.,are widely applied in many fields such as micro-electrics and photo-electrics.In this paper,the ferroelectric materials and their applications in the MEMS devices are introduced.

关 键 词：MEMS 铁电材料 微电子机械系统 应用 压电微马达 微型传感器 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学] TM22[一般工业技术—材料科学与工程]