压力灵敏度

作品数：31被引量：64H指数：5
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智能化压力传感器的研制被引量：9
《半导体杂志》1996年第3期21-29,共9页尹志华 范兆书 孙以材 张储林 
本文主要介绍智能化硅压力传感器的微机检测、运算处理和控制。由平面工艺制成的硅压阻传感器，当其把压力信号转换为电信号后，经模拟通道的予处理，再由微机对检测的信号进行压力零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正...
关键词：硅压阻 传感器 压力零点 压力灵敏度 温度补偿 
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