压力微传感器

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非接触式压力微传感器的设计
《仪表技术与传感器》2001年第12期4-6,共3页褚丹雷 
就如何利用MEMS技术 ,实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构 ,大大改善了传统接触式压力传感器 ,工作区域狭小 ,线性度较差等问题 ,使压力传感器在高载荷条件下 ,由小扰度向大扰度过渡时 ,不产生非线性跳变 ...
关键词：压力微传感器 MEMS 扰度 硅梁 设计 
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