QDR

作品数：42被引量：38H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术医药卫生更多>>
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相关机构：国防科学技术大学电子科技大学中国船舶重工集团公司第七二二研究所西安电子科技大学更多>>
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快排清洗槽中节水阀的应用分析被引量：1
《清洗世界》2020年第3期43-45,共3页赵宏亮 边晓东 刘建民 高津平 
在晶圆的清洗洁净过程中,利用快速排水清洗槽进行快速排水清洗法是比较常见的一种晶圆清洗方式。快速排水清洗法是先将晶圆完全浸泡于快速清洗槽的去离子水中,再快速排除清洗槽中的去离子水,用于达到清洗晶圆的目的。现有的清洗设备中,...
关键词：晶圆清洗 节水阀 QDR 
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