压阻特性

作品数：90被引量：322H指数：10
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集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性
《微纳电子技术》2021年第5期403-409,420,共8页齐秉楠 王任鑫 史一明 苗晋威 任子明 
国家自然科学基金资助项目(51875535);国防科技重点实验室基金资助项目(6142109KF201804)。
水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能。针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式矢量...
关键词：压阻式矢量水听器 微电子机械系统(MEMS) 硅纳米膜 硅纤毛 灵敏度 
硅压阻式传感器的温度特性及其补偿被引量：16
《微纳电子技术》2003年第7期484-488,共5页樊尚春 彭春荣 
国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 0 0 9);航空科学基金资助项目 (0 2 15 10 18)
基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ,讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ,特别是温度特性进行了探讨和比较。针对...
关键词：阻式传感器 温度特性 温度补偿 硅传感器 扩散掺杂工艺 压阻特性 
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