云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- SICN

SICN: 作品数：43被引量：62H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：一般工业技术理学更多>>; 相关作者：周继承邵长伟龙鑫郑旭强石之杰更多>>; 相关机构：国防科学技术大学山东大学哈尔滨工业大学厦门大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金中国科学院院长基金高等学校学科创新引智计划黑龙江省普通高等学校青年学术骨干支持计划更多>>

检索结果分析

选择条件：

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备: 《中国科学（E辑）》2006年第5期515-524,共10页王浩宋胤江李效东金东杓; 国家自然科学基金(批准号:59972042);韩国国家重点实验室项目(批准号:M1040000006-04J0000-06110);国防科学技术大学博士创新基金(2001~2004年)资助项目; 采用毛细管微模塑技术和转移微模塑技术,以硅片为栽片,以图案化聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为模板,以聚碳硅烷(PCS)和聚硅氮烷(PSZ)为先驱体,经过先驱体的渗入、先驱体的交联固化、弹性模板的去除以及图案化先驱体的无机化,制备了图案化...; 关键词：微加工技术软刻蚀弹性模板非氧化物陶瓷图案化