SIOX

作品数：131被引量：243H指数：7
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相关机构：中国科学院北京印刷学院渤海大学昆明理工大学更多>>
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电源功率对SiO_x薄膜包装材料阻隔性影响的研究被引量：1
《哈尔滨商业大学学报（自然科学版）》2009年第2期207-209,233,共4页张博 孙智慧 林晶 刘壮 
国家"十一五"科技支撑计划课题资助(2006BAD05A05)
研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm3/(m2.kPa.24h),透湿率...
关键词：SIOX 磁控溅射 电源功率 透氧率 透湿率 
磁控溅射陶瓷薄膜(SiOx)阻隔性机理的研究被引量：6
《包装工程》2008年第10期12-14,共3页刘壮 林晶 孙智慧 高德 
“十一五”国家科技支撑重大项目(2006BAD05A05);印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题(KF200705)
研究了磁控溅射镀陶瓷薄膜(SiOx)使PET基体阻隔性提高的机理,并对SiOx层的堆积结构做了假设及理论分析,结合SEM形貌表明:磁控溅射SiOx层存在层状结构及针孔随机分布,阻隔性的提高可由努森扩散和层流两种机理加以解释,即在一定的压力差下...
关键词：磁控溅射 陶瓷膜 努森扩散 层流 
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