SI单晶

作品数:29被引量:24H指数:3
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单晶Si中(10)面沿[11]方向裂纹的脆韧性转变
《材料研究学报》2001年第5期559-564,共6页谭军 李守新 姚戈 温井龙 
国家重大基础研究资助项目 G19990680.
利用改进压轮法预制出与以往不同的(10)面[11]方向的平直裂纹.采用三点弯曲法测定裂纹临界应力强度因子 K_c,用扫描电镜分析裂纹面断口的形貌,研究了硅单晶中的脆韧性转变(BDT)行为 结果表明,随着加载速率从 ...
关键词:SI单晶 脆韧性转变 裂变 滑移面 硅单晶 温度 位错 制备 
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