SO2传感器

作品数：10被引量：16H指数：3
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金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状被引量：7
《传感器与微系统》2021年第2期1-3,11,共4页刘航 王秋晨 于兰伊 王林康 
吉林省科技厅项目(20190303064SF);吉林省产业技术研究与开发专项项目(2019C048-4)。
介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向。
关键词：SO2传感器 金属氧化物半导体 复合材料 
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