SU-8胶

作品数：54被引量：207H指数：8
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相关机构：大连理工大学上海交通大学南京航空航天大学东南大学更多>>
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SU-8胶微结构的尺寸公差研究被引量：2
《传感技术学报》2006年第05A期1523-1526,共4页秦江 杜立群 刘冲 朱神渺 
国家863计划重点资助项目(2004AA404260)
对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究.在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上,根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差模型,对SU-8微结构的尺寸及其公差进行数值模拟.以硅为基底,进行了...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 尺寸公差 紫外光刻 
SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1470-1472,1476,共4页冯明 黄庆安 李伟华 周再发 朱真 
国家杰出青年科学基金资助课题(50325519)
本文根据菲涅尔衍射的原理,在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下,给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时,光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模拟.将试验结果与实际情况相比,表现出了一定的适用性,可以...
关键词：菲涅尔衍射 深紫外光强度分布 SU-8胶 
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