秦江

作品数：6被引量：46H指数：4
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供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
发文主题：微电铸SU-8胶菲涅耳衍射紫外光刻尺寸公差更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《高技术通讯》《微细加工技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金国家科技支撑计划更多>>
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SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究被引量：6
《光学精密工程》2007年第4期447-452,共6页杜立群 秦江 刘冲 朱神渺 李园园 
国家科技支撑计划项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金项目(No.50675025)
研究了衍射效应对SU-8胶紫外光刻尺寸精度的影响。根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型,预测微结构的尺寸,分析了光刻参数变化对尺寸的影响。为了更好地与数值模拟结果进行比较,以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究。实验...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 紫外光刻 尺寸精度 MATLAB 
微电铸器件铸层均匀性的研究被引量：19
《光学精密工程》2007年第1期69-75,共7页杜立群 刘海军 秦江 朱神渺 
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404260);国家自然科学基金(No.50675025);教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电...
关键词：铸层均匀性 FICK第二定律 正负脉冲电流 
基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究被引量：5
《微细加工技术》2006年第5期51-54,共4页杜立群 秦江 刘海军 刘冲 于同敏 
国家高科技研究发展计划(863项目)资助(2002AA4044602004AA404260)
介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法———无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的。讨论了SU-8胶与基底的结合特性以及几种去除SU-8胶的有效方法,所制...
关键词：微电铸 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶 微注塑模具 
无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究被引量：7
《传感技术学报》2006年第05A期1481-1483,1487,共4页刘海军 杜立群 秦江 朱神渺 
国家863MEMS重大专项资助(2004AA404260)
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的...
关键词：无背板生长工艺 微电铸 周期换向电流 均匀性 
SU-8胶微结构的尺寸公差研究被引量：2
《传感技术学报》2006年第05A期1523-1526,共4页秦江 杜立群 刘冲 朱神渺 
国家863计划重点资助项目(2004AA404260)
对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究.在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上,根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差模型,对SU-8微结构的尺寸及其公差进行数值模拟.以硅为基底,进行了...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 尺寸公差 紫外光刻 
基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究被引量：8
《高技术通讯》2006年第4期368-371,共4页肖日松 杜立群 刘冲 刘海军 秦江 
863计划MEMS重大专项（2004AA404260）资助项目.
针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅...
关键词：微型模具 MEMS UV-LIGA 光刻 微电铸 湿法刻蚀 
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