云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- SU-8胶

SU-8胶: 作品数：54被引量：207H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：朱军刘景全杜立群陈迪明平美更多>>; 相关机构：大连理工大学上海交通大学南京航空航天大学东南大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>

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基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备被引量：3: 《分析化学》2016年第4期660-664,共5页李刚李大维赵清华菅傲群王开鹰胡杰桑胜波程再军孙伟; 国家自然科学基金(Nos.61504113;51205275);人社部留学基金(No.[2014]240);山西省归国留学基金(2013-035);山西省人社厅留学人员择优资助(No.[2013]251);山西省科技研究基金(Nos.20141001021-2;2014011019-1);国家863计划(No.2013AA041100);山西省科技重大专项(No.20121101004);山西省高等特色学科建设项目([2012]45)资助~~; 利用斜光刻技术替代传统的直光刻技术在相同底面积的基础上增大微阵列比表面积制备了高比表面积三维微阵列结构,。首先,利用MATLAB仿真对微阵列排布方式进行分析,确定最佳单个柱体宽度及阵列间距。实验中,采用两次甩胶法将SU-8光刻胶均...; 关键词：三维微阵列斜光刻技术 SU-8光刻胶比表面积