TFT阵列

作品数：18被引量：9H指数：2
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新书推荐——薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术
《现代显示》2007年第11期F0003-F0003,共1页
本书主要介绍非晶硅（amorphous silicon，a-Si）TFT阵列大规模生产的制造技术，共13章，内容从TFT元件的结构及特点，到TFT的检查与修复，包括TFT阵列制造清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不尉辑析和检查修复。本书从11可阵列大规模制...
关键词：TFT阵列 制造技术 薄膜晶体管 SILICON 大规模生产 制造工艺技术 工艺技术管理 清洗工艺 
长期存放条件下TFT阵列基板栅金属线腐蚀原因分析被引量：3
《现代显示》2006年第7期50-52,16,共4页林鸿涛 王鹏 
在TFT-LCD制造和存放过程中,存在着电化学腐蚀的环境,由于腐蚀速度相对较慢,所以对此现象的认识和研究不足。本文通过实例分析,研究了栅金属电极线在大气环境下的腐蚀现象和机理,并提出了降低腐蚀的措施。
关键词：栅金属线 腐蚀 长期存放 原因分析 
直接转换X光数字传感器的高占空比TFT阵列
《现代显示》2000年第1期32-37,共6页邓波儿 仲正中 顾铁儿 
本文介绍一种用于直接转换X光传感器的、尺寸为14in×8.5in、象素数为1536×2560的TFT阵列的制造及工作原理。讨论了高占空比AMLCD中的TFT矩阵在工艺及设计方面的类似性,它采用了一种低κ值的互连-隔离(inter-level)绝缘层以改善其特性。
关键词：X光传感器 TFT阵列 数字传感器 薄膜晶体管 
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