TI/AL/NI/AU

作品数:14被引量:12H指数:2
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晶格匹配InAlN/GaN异质结Ti/Al/Ni/Au欧姆接触的温度依赖特性
《科学通报》2016年第10期1130-1134,共5页汪照贤 闫大为 张丹丹 顾晓峰 
国家自然科学基金(61504050);中央高校基本科研业务费专项(JUSRP51510和JUSRP51323B);江苏省六大人才高峰资助项目(DZXX-053);江苏省普通高校研究生科研创新计划(KYLX15_1195)资助
在硅衬底晶格匹配In_(0.17)Al_(0.83)N/GaN异质结外延片上制备了Ti/Al/Ni/Au欧姆接触传输线模型测试结构,通过测试变温电流-电压特性研究方块电阻(R_(sh))和比接触电阻率(ρ_(sc))的温度依赖特性.结果表明:(1)沟道层的R_(sh)对温度呈指...
关键词:晶格匹配 InAlN/GaN异质结 欧姆接触 温度依赖特性 类金属特性 热场发射 
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