TI/AL/NI/AU

作品数：14被引量：12H指数：2
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高温下n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触的可靠性研究
《北京工业大学学报》2007年第11期1153-1157,共5页张跃宗 冯士维 张弓长 王承栋 吕长志 
国家863项目(编号2006AA03A112)
研究了高温工作环境下Ti/Al/Ni/Au(15 nm/220 nm/40 nm/50 nm)四层复合金属层与n-GaN(N_d= 3.7×10^(17)cm^(-3),N_d=3.0×10^(18)cm^(-3))的欧姆接触特性,试验结果标明,当测量温度低于300℃时,存储时间为0～24h,其接触电阻率基本不变,...
关键词：欧姆接触 接触电阻率 可靠性 
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