TI/AL/NI/AU

作品数：14被引量：12H指数：2
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Ti/Al/Ni/Au在N-polarGaN上的欧姆接触被引量：2
《材料导报》2017年第4期14-16,共3页王现彬 王颖莉 赵正平 
河北省科技计划项目(15210606);石家庄学院科研启动项目(16BS004)
N-polar GaN以其特有的材料特性和化学活性日益受到研究者关注,而N-polar GaN上欧姆接触也成为研究的热点。以Ti/Al/Ni/Au作为欧姆接触金属,分析了N-polar GaN上欧姆接触的最优退火条件,并借助剖面透射电子显微镜(TEM)和能量色散X射线...
关键词：TI/AL/NI/AU 欧姆接触 氮极性 氧化铝 
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