V2O5薄膜

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磁控溅射制备V2O5薄膜及全固态薄膜锂电池研究
《电源技术》2019年第6期909-911,927,共4页王胜利 傅方樵 桑林 丁飞 
V2O5具有容量高、循环稳定、易于制备成薄膜等特点,是全固态薄膜锂电池理想的正极材料。采用磁控溅射法,以V2O5为靶材制备了薄膜,研究了溅射气体Ar/O2对薄膜结构、形貌及电化学性能的影响,优化了薄膜制备工艺。最终采用磁控溅射法依次...
关键词：磁控溅射 V2O5薄膜 全固态薄膜锂电池 
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