YSZ薄膜

作品数：45被引量：151H指数：6
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相关领域：理学电气工程更多>>
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相关机构：中国科学院哈尔滨工业大学中国科学技术大学吉林大学更多>>
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脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备a轴取向YSZ薄膜被引量：1
《真空科学与技术学报》2010年第2期144-148,共5页经晶 朱俊 罗文博 张鹰 李言荣 
国家重大基础研究发展计划"973"(61363);国家自科学基金(No.50772019)资助项目
采用脉冲激光沉积方法,通过金红石相TiO2(200)纳米诱导层在蓝宝石衬底上生长了(200)取向的萤石相钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜。通过反射式高能电子衍射对薄膜生长过程进行原位监测;用XRD分析进行后位的薄膜结构表征;使用原子力显微镜来观测...
关键词：YSZ薄膜 外延生长 脉冲激光沉积 反射式高能电子衍射 
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