经晶

作品数:2被引量:1H指数:1
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供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题:蓝宝石衬底脉冲激光沉积法脉冲激光沉积YSZ薄膜表面形貌更多>>
发文领域:电子电信理学更多>>
发文期刊:《功能材料》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备a轴取向YSZ薄膜被引量:1
《真空科学与技术学报》2010年第2期144-148,共5页经晶 朱俊 罗文博 张鹰 李言荣 
国家重大基础研究发展计划"973"(61363);国家自科学基金(No.50772019)资助项目
采用脉冲激光沉积方法,通过金红石相TiO2(200)纳米诱导层在蓝宝石衬底上生长了(200)取向的萤石相钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜。通过反射式高能电子衍射对薄膜生长过程进行原位监测;用XRD分析进行后位的薄膜结构表征;使用原子力显微镜来观测...
关键词:YSZ薄膜 外延生长 脉冲激光沉积 反射式高能电子衍射 
脉冲激光沉积法制备Pt薄膜的研究
《功能材料》2009年第6期922-925,共4页李理 朱俊 李扬权 经晶 周文 罗文博 李言荣 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(61363);国家自然科学基金资助项目(50772019)
采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的...
关键词:脉冲激光沉积(PLD) Pt薄膜 电学性能 表面形貌 蓝宝石衬底 
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