ZNO材料

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ZnO材料及紫外探测器关键技术研究进展
《电子世界》2017年第23期9-11,共3页阮育娇 李鹭虹 崔潼 康品春 郑鹏 蒋淑恋 
国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2014QK020)资助
ZnO是一种独特的第三代半导体材料。近年来,ZnO薄膜和纳米材料以及三元ZnO基材料得到广泛研究和发展。ZnO基紫外探测器由于其优异的光电特性,随着ZnO材料的不断发展已成为紫外探测领域研究中的新热点之一。本文介绍了近年来国内外ZnO基...
关键词：第三代半导体材料 ZNO薄膜 紫外探测器 技术 材料制备 器件结构 纳米材料 光电特性 
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