ZNO压电薄膜

作品数：20被引量：43H指数：4
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相关作者：乔东海郝震宏汪承灏汤亮崔岩更多>>
相关机构：中国科学院电子科技大学北京航空航天大学四川压电与声光技术研究所更多>>
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硅微ZnO压电薄膜传声器的研制被引量：5
《应用声学》2003年第5期1-4,共4页杨楚威 黄歆 李俊红 解述 魏建辉 马军 汪承灏 
本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述。本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对...
关键词：硅微压电薄膜传声器 换能器 ZnO 微机械加工工艺 性能 频率 灵敏度 平坦度 微机电系统 
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