研磨工艺

作品数：220被引量：283H指数：7
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相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华力微电子有限公司上海华力集成电路制造有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司更多>>
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磁力研磨工艺提高叶片表面质量的试验研究被引量：3
《表面技术》2023年第2期67-77,共11页夏楠 马小刚 吴传宗 张亮 杨诗瑞 陈燕 
国家自然科学基金(51775258);辽宁省自然科学基金重点项目(20170540458);精密与特种加工教育部重点实验室基金(B201703)。
目的提高航空发动机涡轮叶片的服役年限。方法应用磁力研磨工艺提高涡轮叶片表面质量,包括降低叶片表面粗糙度、去除飞秒激光制孔过程中产生的棱边毛刺以及降低叶片表面残余应力,建立神经网络模型确定最佳工艺参数,在最佳工艺参数下对...
关键词：涡轮叶片 磁力研磨 表面粗糙度 残余应力 神经网络 气膜孔质量 服役寿命 
易解理氧化镓晶片的半固结研磨工艺被引量：1
《表面技术》2022年第3期178-185,198,共9页蒋网 周海 计健 任相璞 朱子岩 
国家自然科学基金面上项目(51675457);江苏省普通高校研究生科研创新计划(SJCX21_1521);盐城工学院研究生实践创新计划(SJCX21_XY004)。
目的 为了探究在半固结研磨工艺下的工艺参数对单晶氧化镓(100)晶面材料去除率和表面形貌的影响。方法通过单因素试验研究研磨垫上磨料的粒度、研磨压力和研磨盘转速等工艺参数对氧化镓晶片材料去除率和表面粗糙度的影响规律,并采用正...
关键词：氧化镓 半固结研磨 研磨加工 单因素试验 正交试验 
基于微切削模型的不锈钢研磨表面残余应力规律被引量：3
《表面技术》2021年第1期422-431,共10页袁巨龙 韩文杰 杜东兴 黄文 吕迅 
国防基础科研“科学挑战计划”项目(TZ2016006-0107-01);中国科学物理研究院超精密加工重点实验室基金(ZM18003)。
目的基于单颗粒微切削模型,研究分析研磨工艺对HR-2抗氢不锈钢工件表面残余应力的演化规律与产生机制的影响。方法建立研磨磨粒单颗粒微切削残余应力数学模型,采用正交试验获得研磨工艺参数与表面残余应力大小、磨粒微切削切深和切向力...
关键词：残余应力 表面完整性 抗氢不锈钢 研磨工艺 微切削模型 残余应力预测模型 单磨粒 
研磨工艺对18CrNiMo7-6钢表面粗糙度和残余应力的影响被引量：1
《表面技术》2020年第1期343-348,共6页张银霞 王文广 郜伟 于鑫 杨鑫 
国家自然科学基金重点项目(U1804254);国家留学基金委项目(201907045070);中国博士后科学基金项目(2015M580635)~~
目的探究研磨工艺参数对18CrNiMo7-6钢渗碳前后工件表面粗糙度和残余应力的影响规律,从而为降低研磨加工工件表面粗糙度,提高表面质量提供依据。方法分别采用三维表面轮廓仪和X射线残余应力分析仪对工件研磨前后的表面粗糙度和残余应力...
关键词：研磨 18CrNiMo7-6钢 渗碳 表面粗糙度 残余应力 
安全阀阀座与阀瓣研磨工艺的实验研究被引量：4
《表面技术》2016年第4期198-202,212,共6页邓俊秀 朱海清 
目的提高安全阀阀座与阀瓣的研磨维修质量和工作效率。方法以砂纸为研磨介质,研究砂纸的细度、研磨压力、研磨机转速、研磨时间、研磨路径对阀座与阀瓣材料去除率与表面粗糙度的影响。通过正交实验,综合考虑各个工艺参数对材料去除率和...
关键词：安全阀阀座与阀瓣 研磨工艺 正交实验 综合优化 材料去除率 表面粗糙度 
离心研磨工艺对Ti-6Al-4V钛合金表面组织性能的影响被引量：5
《表面技术》2016年第1期101-105,共5页陈光忠 何志坚 杨岳 
湖南省科技厅研究课题(2013FJ3019);湖南省教育厅研究课题(14C0825)~~
目的改善Ti-6Al-4V钛合金的组织性能。方法使用离心研磨工艺对Ti-6Al-4V钛合金进行表面处理,通过显微硬度计、X射线应力分析仪、金相显微镜,对不同加工时间下试样表层的显微硬度、残余应力、金相组织进行测试。结果离心研磨加工后,Ti-6A...
关键词：TI-6AL-4V 离心研磨 显微硬度 残余应力 金相组织 变形层 
机械研磨工艺对AZ91D镁合金显微结构的影响被引量：8
《表面技术》2015年第2期78-82,共5页韩宝军 何琼 杨妙 
教育部科技重点项目(212093);江西省自然科学基金项目(20114BAB216013)~~
目的研究不同机械研磨处理条件对AZ91D镁合金表面晶粒细化行为与机制的影响。方法采用不同直径的弹丸对密排六方结构的AZ91D镁合金进行不同时间的表面机械研磨处理,对处理试样的表面显微结构进行对比和表征,分析晶粒细化机制。结果通过...
关键词：AZ91D镁合金 表面机械研磨 晶粒细化 
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