A-C:F

作品数：23被引量：19H指数：2
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相关领域：理学电子电信更多>>
相关作者：汪家友杨银堂吴振宇刘雄飞肖剑荣更多>>
相关机构：苏州大学中南大学西安电子科技大学大连交通大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《功能材料》《电子元件与材料》《物理学报》更多>>
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非晶氟化碳膜的制备与性能研究被引量：2
《微细加工技术》2005年第3期42-47,共6页吴振宇 杨银堂 汪家友 
电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室资助项目(51433020205DZ01)
采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)的方法,以C4F8和CH4为源气体,在不同气体质量流量比R(R=m(CH4):m(CH4+C4F8))条件下制备了非晶氟化碳(a-C:F)薄膜.采用X光电子能谱(XPS)和傅里叶变换红外(FTIR)光谱技术分析了a-C:F薄膜的...
关键词：A-C:F 薄膜性能 化学气相沉积 化学组分 
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