AFM阳极氧化

作品数：9被引量：3H指数：1
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AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工
《传感技术学报》2006年第05A期1441-1443,1447,共4页刘庆纲 何博涛 张超艳 祁森 张世林 胡小唐 
天津市自然科学基金资助(06YFJZJC01000);教育部天津大学南开大学科技合作项目的资助
通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境...
关键词：AFM阳极氧化 脉冲宽度 偏置电压 大气湿度 
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