AIN陶瓷

作品数：27被引量：67H指数：5
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射频溅射薄膜改善氮化铝陶瓷与金属连接性研究被引量：4
《中国表面工程》1998年第4期5-9,共5页朱胜 霍辛斯基 徐滨士 
波兰"高科技"基金
本文介绍了一种改善氮化铝（AlN）陶瓷与金属连接性的新工艺方法。首先采用射频溅射在AlN陶瓷表面沉积铝、钛薄膜，然后用真空钎焊和扩散焊实现经表面改性的AlN陶瓷与Cu和FeNi42等金属的连接。由于射频溅射于射频溅射的Al、Ti薄膜改善了...
关键词：金属 扩散焊 真空钎焊 表面沉积 过渡层 射频溅射 结合强度 AIN陶瓷 氮化铝陶瓷 新工艺 
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